程控厭氧潔凈烘箱是一臺針對集成電路封裝生產(chǎn)線芯片上芯固化時存在的污染、發(fā)黃、氧化、分層等問題而研制的烘箱，通過強制排風(fēng)，帶走烘烤揮發(fā)物，將各種動作、邏輯關(guān)系、相關(guān)保護、參數(shù)設(shè)定、數(shù)據(jù)通信程序化，操作員只是簡單的操作即可完成整個工藝段的烘烤，提高了烘烤工藝的可控性，增加了烘烤溫度曲線對應(yīng)產(chǎn)品序號的可追溯性。
程控厭氧潔凈烘箱規(guī)格書
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項目 |
HTM-2352 |
HTM-2381 | |
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工作腔體 |
工作腔數(shù)量 |
1個 |
2個 |
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工作腔尺寸（寬×深×高，mm） |
690×680×930 |
660×660×550 | |
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總工作層數(shù) |
4層 |
3+3=6層 | |
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每層放置料盒數(shù)量 |
8個（料盒尺寸280×110×125） |
6個（料盒尺寸280×110×125） | |
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合計放置料盒數(shù)量 |
32個 |
36個 | |
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溫度特性 |
空載平均升溫速度 |
7.25℃/min |
8℃/min |
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空載平均降溫速度（200℃-80℃） |
2.5℃/min |
3.7℃/min | |
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溫度均勻性（空載恒溫20分鐘） |
±2℃ | ||
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溫度均勻性（滿載恒溫20分鐘） |
±5℃ | ||
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保溫及密封性能 |
＞18H | ||
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保溫及密封性能 |
＜（室溫+25）℃ | ||
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工藝特性 |
固化工藝 |
直排風(fēng)烘烤+循環(huán)風(fēng)烘烤 | |
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排風(fēng)方式 |
主動排風(fēng) | ||
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排風(fēng)量調(diào)節(jié)開關(guān)間歇 |
5S:XS，（X可編程設(shè)置） | ||
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降溫方式 |
水冷/風(fēng)冷 | ||
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氮氣流量 |
80-120L/min | ||
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氧氣含量（通氮15min后） |
＜5000PPM | ||
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氧含量分析儀 |
選配 | ||
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安全特性 |
抗氧化安全 |
氮氣流量自動監(jiān)控（選配氧氣含量自動監(jiān)控） | |
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抗污染安全 |
主動排風(fēng)、電機故障監(jiān)控、排風(fēng)閥狀態(tài)監(jiān)控 | ||
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超溫保護1 |
5點溫度傳感器檢測保護 | ||
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超溫保護2 |
數(shù)字超溫保護模組 | ||
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超溫保護3 |
機械式超溫保護模組 | ||
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安全門鎖 |
自動安全門鎖 | ||
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斷電保護 |
配備UPS，如果自動運行過程發(fā)生斷電，設(shè)備保持斷電前數(shù)據(jù)，強制通氮氣保護，并報警。 | ||
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信息化配置 |
烘烤參數(shù) |
多個參數(shù)預(yù)先設(shè)定、存儲，5段式獨有工藝參數(shù) | |
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烘烤參數(shù)調(diào)用 |
條碼掃描調(diào)用/人工選取調(diào)用 | ||
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烘箱運行數(shù)據(jù) |
實時顯示 | ||
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溫度時間曲線記錄 |
自動記錄、長期保存 | ||
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產(chǎn)品烘烤信息查詢 |
可查詢，可輸出 | ||
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操作、報警日志記錄 |
自動記錄、長期保存 | ||
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部分操作界面 |
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烘箱設(shè)備管理平臺聯(lián)網(wǎng) |
選配 | ||
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與MES系統(tǒng)聯(lián)網(wǎng) |
選配 | ||
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設(shè)備動力配置 |
外形尺寸（長×寬×高，mm） |
1430×1050×1826 |
1360×1100×2000 |
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開門尺寸（長×寬，mm） |
1430X2000 |
1360X1970 | |
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空載重量 |
520KG |
550KG | |
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電源 |
AC380V、28A、18kw、50Hz |
AC380V、32A、21kw、50Hz | |
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冷卻循環(huán)水 |
5L/min、2bar、18℃、1/2內(nèi)螺紋接口 | ||
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氮氣流量 |
150L/min、2bar、99.99%、φ10mm快插 | ||
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壓縮空氣 |
5L/min、5bar、φ10mm快插 | ||
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排風(fēng) |
5m/s、1360L/min、φ76mm（可選后部或頂部排風(fēng)） | ||
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熱量回收效率 |
＞40% |
/ | |
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固態(tài)揮發(fā)物冷凝回收裝置 |
配置T型冷凝回收裝置 | ||
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工藝及材質(zhì) |
控制系統(tǒng) |
工業(yè)控制計算機 |
工業(yè)控制計算機 |
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烘箱內(nèi)膽材料 |
鏡面304不銹鋼 | ||
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烘箱外殼材料及工藝 |
1.5mm冷軋鋼板激光切割、成型焊接 | ||
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烘箱外殼處理工藝 |
高溫噴塑處理 | ||
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烘箱保溫層材料 |
高密度壓縮成型片狀巖棉 | ||
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設(shè)備外觀 |
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0917-6753866