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晶圓激光打標機

 

綠光激光標記的優勢:

 

       常見的綠激光是指532nm波長的激光。工作原理:激光器內部有一個808nm波長 的紅外線激光管,用于泵浦(激發)YVO4激光晶體來發射1064nm的遠紅外激光, 1064nm的遠紅外激光經過倍頻晶體后波長減半,頻率加倍,生成532nm的綠激光。
       成本優勢:在滿足客戶使用要求的前提下,選擇高性價比方案,綠激光器成 本明顯低于紫外激光器,532nm振鏡比進口紫外振鏡相比,成本急劇降低, 532nm平場鏡頭相比紫外平場鏡頭也是如此。
       平均功率優勢:在相同采購成本前提下,綠光平均功率顯然比紫外大很多。平均功率高的綠光,在切割效率上比紫外要快很多,直接提高激光切割效率,降低切割時間成本。
       激光劃刻精細:線條可以達到微米級,采用激光標刻技術制作的標記仿造和更改都非常困難,對產品防偽極為重要。

 

打標效果照片:

 

產品性能與特點:

○ 印記規格:數字或字母字高≥0.12mm、字寬≥0.12mm、字深≤0.015mm;
○ 適合打標的晶圓規格:8英寸Wafer、12英寸Wafer;
○ 振鏡掃描范圍≥35mmx35mm,打標位置偏差≤±20μm;
○ 表面質量:字體完整,無中斷,清晰可見,無重影,線寬≤20μm;
○ 整片打印印記重復精度<±0.02mm;
○ 雙CCD定位,正反雙面定位;
○ 平臺定位精度±0.0005mm; 
○ 軟件具備識別條形碼參數切換和自動替換字符功能;
○ 軟件具備Offset手動輸入功能,以解決Wafer上不規 則的打標偏移現象;
○ 自動生成MappingFile功能:可根據參數生成一個與 實際圖形重合的虛擬die分布圖;
○ 模塊化設計,國際品牌配置,確保設備穩定運行。